小体微小气体质量流量计 是一款小体化设计的毛细管热式气体质量流量计，精度高，体积小 响应快速。

350-C 系列气体质量流量计技术参数 2 sccm – 50 slm 

注：所有设计及规格仅供参考，如有更改恕不另行通知。Note: all designs and specifications are for reference only and is subject to change without prior notice. 26072701 INSTRUMENTS

参数  介质要求 Applicable Media 洁净干燥气体 Clean, dry gases 

气体种类 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 10, 20, 50, 100, 200 sccm; 0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50 slpm 

测量范围 Measurement range 0.5% F.S. (1:200) 

控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC） 

准确度 Accuracy ±0.5% F.S. 

重复精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

线性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制响应时间 Typical control response time ≤1 秒 

预热时间 Warm-up time 5 min (T95),30分钟最佳 30min for optimum accuracy 

阀门 Valve function 常闭式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10-10 Pa*m³/sec He 

分辨率 Resolution ratio 0.001sccm 机械特性 MECHANICAL 

耐压 Maximum Pressure 3 MPa (30bar) 

工作压差范围 Operating differential pressure 0~1 MPa 

工作温度范围 Operating temperature range -20～65℃ (环境和气体 ambient and gas)

湿度范围 Relative humidity range 0~98%无凝露 No - condensing 

气路接头类型 Process connections 卡套、快拧、VCR (Compression fitting, Push-in fitting, , VCR optional) 

气体接触材质 Material FKM、316 不锈钢 (FKM 316 Stainless steel) 

密封材质 Seals FKM（FFKM可选） 防护等级 Ingress protection (housing) IP40 安装方式 Mounting 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation 固定孔 Mounting holes M4 ↧ 6mm 重量 Weight 0.54 kg (MFM) / 0.69 kg (MFC) 电气和通讯 COMMUNICATIONS

电气连接接口类型 Electrical connection DB-9 公头 (Male) 数字信号 Digital input and output options Modbus RTU (RS485), CAN 电源 Power requirements 15-40 VDC,<200mA 特征 FEATURES 标况 STP reference conditions 20℃(可设置), 1 atm 气体选择 Gas Select 可选，具体参考说明书气体系数 软件 Software Aitoly 分阶流量软件