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在半导体、光伏、生物制药,生命科学,研究院所等制造领域,气体质量流量控制器(MFC)是精确控制工艺气体的核心部件。长期以来,该市场被国外品牌垄断,是我国产业链的“卡脖子"环节。苏州爱拓利专注于MFC的自主研发,致力于实现流体测控技术的国产化替代。
二、核心技术亮点
自主可控:核心部件(毛细管柱式传感器、高精度微型比例阀)实现100%自研自制,全制程自主生产,不受外部供应链限制。
性能对标国际一线:
高精度:控制精度达±0.5%F.S.,重复精度±0.2%F.S.。
宽量程:覆盖2sccm至500slpm,满足实验室到工业量产全场景。
快响应:响应时间<1秒,抗干扰能力强。
超低泄漏:泄漏率低至1×10⁻¹¹ Pa·m³/sec He,适用于高纯工艺。
智能与稳定:采用先进的温压补偿技术及智能控制算法,实现极低的零漂和长期运行稳定性。