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精度高微小气体流量计
产品简介

精度高微小气体流量计精度0.5% ,耐压3Mpa,工作压差范围0-1Mpa,精度高,响应快,是爱拓利自主研发生产的升级毛细管流量计。

产品型号:MFC350
更新时间:2026-04-29
厂商性质:生产厂家
访问量:22
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MFM/MFC330/350系列气体质量流量/控制器,产品基于毛细管柱热式原理,主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。

MFM/MFC330/350系列气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定性好、工作压力范围宽、极低零漂等特点。模拟量和数字量等多种通讯方式可选,内置显示屏可选,操作配置灵活。

MFC330/350

阀门

常闭式


流量规格

0-2, 10, 20, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 50 slpm

MFC350可支持更大量程至200slpm,详询4008919886)


流量测量范围

0.5% - 1 00% F.S. (1:200)


流量控制范围(MFC)

1% - 1 00% F.S. (1:100)


准确度

±1% F.S.(MFC330);

±1.0% S.P. (量程≥35% F.S.), ±0.35% F.S.( <35% F.S.) 或 ±0.5% F.S.(取优值) (MFC350


重复精度

±0.2% F.S.


控制响应时间

≤5秒(MFC330),    ≤1秒(MFC350)


工作压力

3 MPa (30bar)


工作压差范围

0 ~ 1 MPa


预热时间

5 min (T95), 30分钟


工作温度范围

-20 ~ 65℃ (环境和气体)


湿度范围

0 ~ 98% 无凝露


电源

15-40 VDC,≤ 5w(MFC330/350), ≤ 1.2w(MFM330/350)


通讯方式

模拟量: 0-5VDC, 4-20mA     数字量: Modbus RTU (RS485, RS232) CAN (可选);

以上所有,以及Ethercat,Profibus (MFC350可选)


输入输出阻抗

输入阻抗>10MΩ, 输出阻抗<1kΩ


密封材料

氟橡胶(FKM)全氟醚(FFKM)(可选)


安装方式

水平安装


 

1.



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